EV Group (EVG) — австрійська компанія, що є провідним постачальником обладнання та технологічних рішень для виробництва напівпровідників, MEMS, складних напівпровідників, силових пристроїв та нанотехнологічних виробів. Заснована у 1980 році, EVG має понад 1600 співробітників і представництва в США, Японії, Південній Кореї, Китаї та Тайвані .
Основні напрямки діяльності
1. Виробниче обладнання для напівпровідників
- Wafer bonding: обладнання для з’єднання кремнієвих пластин, включаючи системи GEMINI® та EVG®880 LayerRelease™.
- Літографія та Nanoimprint Lithography (NIL): системи для високоточних мікро- та нанообробок.
- Обробка тонких пластин: технології для роботи з тонкими кремнієвими пластинами.
- Фото- та електронно-променева обробка: обладнання для нанесення фото- та електронно-променевих покриттів.
- Метролого-інспекційні системи: системи для вимірювання та контролю якості.
2. Інноваційні технології
- Hybrid та Fusion bonding: технології для 3D-інтеграції та передових пакувальних рішень.
- Maskless Exposure (MLE™): цифрова літографія без використання масок.
- LayerRelease™: технологія для високопродуктивного перенесення шарів.